簡(jiǎn)要描述:日本三豐525系列CNC超級表面粗糙度測量?jì)x可以同時(shí)進(jìn)行表面粗糙度和形狀 / 輪廓的測量。X1 軸和 Z2 軸的Z大驅動(dòng)速度分別為40mm/s 和 200mm/s,可以高速定位,從而提高了多重輪廓 / 多工件測量的效率。X1 軸和 Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺,從而可以實(shí)現高分辨率 [X1 軸分辨率 :6.25nm, Z1 軸分辨率 :4nm/8nm(CS-5000CNC),
產(chǎn)品分類(lèi)
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品牌 | MITUTOYO/日本三豐 | 價(jià)格區間 | 35萬(wàn)-50萬(wàn) |
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產(chǎn)品種類(lèi) | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
應用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
日本三豐525系列CNC超級表面粗糙度測量?jì)x 福建三豐代理技術(shù)參數 :
X1 軸
測量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.00625µm
檢測方法 : 激光全息光柵尺
測量速度 : 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓)
測量方向 : 向前/向后
直線(xiàn)度 : (0.1+0.0015L)µm 使用標準測針(0.2+0.0015L)µm使用二倍長(cháng)型測針
直線(xiàn)度 : (0.05+0.0003L)µm 使用標準測針(0.1+0.0015L)µm使用二倍長(cháng)型測針(CS-H5000CNC)
指示精度 (20oC): ±(0.3+0.002L)µm
指示精度 (20oC): ±(0.16+0.001L)µm
L 為驅動(dòng)長(cháng)度 (mm)
日本三豐525系列CNC超級表面粗糙度測量?jì)xZ1 軸
測量范圍 : 12mm (使用標準測針)
24mm (使用二倍長(cháng)型測針)
分辨率 : 0.004µm (使用標準測針)
0.008µm (使用二倍長(cháng)型測針)
0.001µm (使用標準測針)(CS-H500CNC)
0.002µm (使用二倍長(cháng)型測針)(CS-H500CNC)
測針上/下運作 : 弧形運動(dòng)
檢測方法 : 激光全息光柵尺
指示精度 (20oC): ±(0.3+I0.02HI)µm
指示精度 (20oC): ±(0.07+I0.02HI)µm
H 為測量高度 (mm)
測力 : 4mN (使用標準測針)
0.75mN (使用二倍長(cháng)型測針)
跟蹤角度 : 向上 60o, 向下 60o
(取決于表面粗糙度)
測針針尖 : 參見(jiàn) L-22 頁(yè)
測針?lè )较?: 向下
Z2 軸 (立柱)
測量范圍 : 300mm 或 500mm
*CS-H5000CNC : 僅 300mm
分辨率 : 0.05µm
檢測方法 : 反射型線(xiàn)性編碼器
0 - 50mm/s (操縱桿控制模式)
基座尺寸 (W x D): 750 x 600mm
基座材料 : 花崗巖
超級輪廓測量裝置Y 軸 *
測量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.05µm
0~50mm/s (操縱桿控制模式)
直線(xiàn)度 : 0.5µm/200mm
指示精度 (20oC): ±(2+2L/200)µm
L 任意兩點(diǎn)間的長(cháng)度 (mm)
尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm
(800 x 620 x 1200mm: 高立柱型)
重量 : 240kg (250kg: 高立柱型)
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